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    干式真空泵--PS系列
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    干式真空泵--PS系列

    干式真空泵

    應用領域:半導體,光電,LED,TFT,制藥,化工,太陽能,真空鍍膜,熱處理等。

    PS系列技術參數表

    機型
    單位
    PS80
    PS160
    PS180
    PS602
    PS902
    PS1302
    PS1802
    抽氣速率
    50Hz/60Hz
     
    L/min
    1300/1600
    2150/2600
    2500/3000
    8300/10000
    12500/15000
    18000/21600
    25000/30000
    m3/h
    80/96
    130/156
    150/180
    500/600
    750/900
    1080/1300
    1500/1800
    cmf
    48/57
    77/92
    88/105
    294/353
    441/530
    580/770
    875/1050
    極限真空
    Torr
    7.5*10-3
    7.5*10-4
    mbar
    1*10-2
    1*10-3
     
    Pa
    1
    0.1
    馬達
    頻率
    Hz
    50/60
    電壓
    V
    220~440
    功率
    Hp
    4
    6
    4+4
    6+4
    6+6
    kw
    2.98
    4.47
    2.98+2.98
    4.47+2.98
    4.47+4.47
    連接
    進氣
     
    NW50
    ISO100
    ISO160
    排氣
     
    NW40
    NW40
    NW40
     
    流量
    L/min
    3~7
    冷卻水
    壓力
    kg/cm2
    2.0~4
     
    溫度
    oC
    18~30
     
    接頭
     
    RC3/8′′
     
    壓力
    kg/cm2
    0.5~1
    氮氣
    稀釋流量
    L/min
    0~60
     
    密封流量
    L/min
    0~20
     
    連接
     
    Swagelok1/4′′
    尺寸L*W*H
    mm3
    814*380*663
    895*405*678
    920*425*650
    814*380*887
    895*405*943
    920*425*957
    920*425*1047
    重量
    kg
    280
    300
    320
    450
    520
    540
    545
    噪音
    dB(A)
    68
    70
    控制界面
     
    SEMI E73-0299
    真空泵最大漏率
    mbar.l/s
    1*10-5
    室溫操作范圍
    oC
    5 oC ~40 oC
    最大操作濕度
    RH
    90%

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